一种微发光元件及其制备方法

本申请公开了一种微发光元件及其制备方法，微发光元件包括驱动基板；第一键合层，设置于驱动基板之上，第一键合层包括图案化的金属层和设置在金属层之间的绝缘层；若干个LED单元，每个LED单元包括：部分第二键合层，设置于所述第一键合层之上，所述相邻LED单元之间的第二键合层断开；外延层，外延层包括：第二半导体层，设置于所述第二键合层上；有源层，设置在所述第二半导体层上，第一半导体层，设置在所述有源层上；钝化层，设置于所述外延层外壁，并在外延层顶面有开孔；N电极层，沉积于所述钝化层上方。本发明提出的微发光元件蚀刻工艺难度降低，有效避免过度蚀刻、蚀刻不完全、侧壁金属残留等问题，提高微发光元件的产品良率。