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显示面板、电子装置、溅射装置和显示面板的制造方法

발명유효
23조회수
20청구항 · 4 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

李东敏; 朴俊龙; 郑镕彬

IPC 분류

H10K 59/123 (2023.01)H10K 59/124 (2023.01)H10K 59/12 (2023.01)H10K 71/00 (2023.01)H10K 71/60 (2023.01)H10H 29/39 (2025.01)H10H 29/41 (2025.01)H10H 29/01 (2025.01)G09F 9/33 (2006.01)C23C 14/34 (2006.01)C23C 14/35 (2006.01)C23C 14/04 (2006.01)

公开了显示面板,该显示面板包括基础层、在基础层上的电路层以及在电路层上的发光元件。电路层包括晶体管、具有限定在其中的接触孔以暴露晶体管的一部分的绝缘层以及通过接触孔与晶体管电连接的连接电极。接触孔的纵横比为0.8或更大,该接触孔的纵横比被限定为接触孔的深度与接触孔的宽度的比率。连接电极包括侧表面部分和上表面部分,并且台阶覆盖率为20%或更大,该台阶覆盖率被限定为侧表面部分的厚度与上表面部分的厚度的比率。还公开了包括显示面板的电子装置、溅射装置以及用于制造显示面板的方法。