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压电薄膜传感器及压电薄膜传感器的制造方法

발명유효
2조회수
11청구항 · 2 독립항
§ Ⅰ

개요

IPC 분류

H10N 30/50 (2023.01)H10N 30/30 (2023.01)H10N 30/057 (2023.01)

本发明提供一种在粘贴于被粘物的曲面部分的情况下也能够抑制回弹的压电薄膜传感器及压电薄膜传感器的制造方法。压电薄膜传感器是层叠有压电薄膜、第1电极、第2电极以及第1基材的层叠体构造,所述压电薄膜具有第1主表面及第2主表面,所述第1电极配置于所述第1主表面,所述第2电极配置于所述第2主表面,所述第1基材配置于所述第2电极与被粘物之间,该压电薄膜传感器的特征在于,所述层叠体构造在剖视时朝向从所述第1基材向所述第1电极去的第1方向呈凸状地弯曲。