重掺杂晶圆的最终抛光处理方法及经抛光的重掺杂晶圆

本公开涉及重掺杂晶圆的最终抛光处理方法及经抛光的重掺杂晶圆。在一方面中，该处理方法包括：使用第一抛光液对重掺杂晶圆进行第一抛光；使用第二抛光液对经过第一抛光的重掺杂晶圆进行第二抛光；以及使用第三抛光液对经过第二抛光的重掺杂晶圆进行第三抛光，其中，第一抛光液和第二抛光液均添加有碱性添加剂，并且第三抛光液不添加碱性添加剂。由此，能够在对重掺杂晶圆表面进行前序工艺损伤去除和镜面化修复的同时减少微分干涉对比缺陷的形成，以提高经抛光的重掺杂晶圆的表面质量和最终成品率。