衬底加工设备

公开了一种衬底加工设备，其包括：第一室，具有第一内部压力；第二室，连接到第一室并具有大于第一内部压力的第二内部压力；转移机构，位于第二室中并配置成转移衬底；以及吹风器，位于第二室中并配置成向衬底吹送空气。