一种便于定位的晶圆搬运装置及其使用方法

本发明公开了一种便于定位的晶圆搬运装置及其使用方法，涉及晶圆加工领域，包括安装架与传送带机构，所述安装架的顶部安装有晶圆搬运机构，所述传送带机构的顶部转动设置有固定台，所述固定台的顶部活动设置有活动台，所述传送带机构的固定架顶部活动设置有平移调整机构，所述平移调整机构的顶部安装有升降气缸。本发明通过平移调整机构对传送带机构上的晶圆位置进行调整，使其适配晶圆搬运机构的吸附位置，晶圆搬运机构可以更好对晶圆进行吸附，吸附稳定性更高，定位更准，有效的降低了晶圆碎片的可能性。