平面定位台、以及定位方法

本发明提供一种平面定位台以及定位方法。所述平面定位台包括：可被驱动以运动至平面上不同位置的集成平面运动台，以及包含在集成平面运动台内的平面夹具台。多个线圈组件安装在集成平面运动台上，用于与安装在平面夹具台上的磁体进行电磁相互作用。所述电磁相互作用可以选择性地将平面夹具台与集成平面运动台耦合以使其一起运动，或者使平面夹具台与集成平面运动台解除耦合，以驱动平面夹具台相对于集成平面运动台运动。