一种可变直径的晶圆吸盘装置

本发明公开了一种可变直径的晶圆吸盘装置，属于半导体制造设备技术领域。该装置包括机架、吸盘调节机构和边缘检测机构。吸盘调节机构设于机架上，其核心在于包括旋转电机、由旋转电机驱动水平旋转的转动盘、高度调节机构以及吸盘组件。旋转电机固定于机架底部或中心，其输出轴连接转动盘中心以传递旋转运动。高度调节机构设于转动盘上，包括直线电机、推杆及由导柱和导筒构成的限位机构，直线电机通过推杆连接吸盘组件，导柱滑动设于导筒内以约束吸盘仅垂直移动。吸盘组件采用同心嵌套布局，包含直径依次增大的吸盘一、吸盘二和吸盘三。本发明通过可独立升降的多级吸盘结构，实现了单一装置对多种尺寸晶圆的快速、稳定适配。