快速热退火方法

本申请公开了一种快速热退火方法，快速热退火腔室内放置晶圆，所述快速热退火腔室内设置多个加热区域，所述快速热退火腔室内设置有用于分别加热所述多个加热区域的多个加热装置，所述方法包括：对所述快速热退火腔室进行预热；提供开环功率对所述晶圆进行加热；获取不同加热区域的多个温度曲线；通过调整所述多个加热装置的加热功率，使不同区域的温度曲线拟合到目标温度曲线；控制加热温度在开环控制阶段转向闭环控制阶段时保持稳定；和提高加热装置的加热功率，使晶圆达到目标温度。