一种堆叠结构及其制备方法

本发明公开了一种堆叠结构及其制备方法。堆叠结构，包括：晶圆和N个功能集成片，N取大于1的整数；所述晶圆表面包括互连区；所述N个功能集成片固定于所述互连区，并通过所述互连区实现所述功能集成片之间的互连。通过本申请提供了一种突破了中介层尺寸的限制，能集成更多的功能集成片，实现更高的集成密度和带宽的堆叠结构方案。