一种基于金刚石-硅复合微通道的高效散热结构及其制造方法

本发明提供了一种金刚石‑硅复合微通道散热器的制备方法，涉及微电子封装与热管理技术领域。包括：步骤S1、制备金刚石膜；步骤S2、金刚石膜研磨抛光；步骤S3、硅片减薄；步骤S4、深硅刻蚀；步骤S5、键合歧管结构。本发明直接键合金刚石薄膜增强热扩散能力，使整体导热性能大幅提升，兼容目前较为成熟的硅微加工工艺。显著降低了加工难度和成本，并改善了制造可行性，使其更适用于高功率微电子器件的高效热管理。