包括真空腔室的气溶胶产生装置

本文披露了一种气溶胶产生装置，该气溶胶产生装置包括：真空腔室（402），该真空腔室限定在多个壁（404a，b，c，d）之间，该多个壁各自具有内表面；加热器（406），该加热器设置在真空腔室的壁中的至少一个壁上，其中，加热器设置在真空腔室内；一个或多个电连接件（408a，b），其中，加热器通过使用一个或多个电连接件穿过真空腔室的壁中的至少一个壁电连接至设置在真空腔室外部的电源；以及涂层，其中，涂层（410，420，430，440，450）设置在加热器（410）、一个或多个电连接件（420）以及任何内表面（430，440，450）中的一者或多者上，由此防止放气到真空腔室中。