用于衬底对准的系统和方法以及包括该系统的设备

本公开提供一种获得衬底对准图像的方法，包括以下步骤：将衬底布置在衬底台上，该衬底至少具有在相应的第一标记位置处的第一标记；使用图像传感器以获取衬底在第一位置处的第一图像，该第一位置在第一标记位置处或附近；将衬底相对于图像传感器移动到邻近第一位置的第二位置，或者反之亦然；确定位置误差；使用图像传感器以获取在第二位置处的第二图像；使用位置误差校正第二图像的第二位置；以及在考虑第二图像的经校正的第二位置的情况下，将第二图像拼接到第一图像，以提供拼接图像。