一种半导体领域多功能地面清洁装置

本发明公开了一种半导体领域多功能地面清洁装置，包括地面清洁装置；地面清洁装置中设有：控制与过滤模组、运动模组和除尘模组；控制与过滤模组位于运动模组上方，控制与过滤模组包括过滤模块、控制模块和风机模块；控制模块包括除尘控制子模块与运动控制子模块，除尘控制子模块连接风机、毛刷驱动电机与高度控制电机；运动模组包括驱动模块、通信模块以及感知模块，驱动模块包括伺服电机、驱动轮与电源：通信模块连接上位机系统；感知模块集成激光雷达、惯性导航传感器。本申请减轻了在相同工况下的风机功率负担；同时风机的集成能有效减小整体装置的体积，减小占地面积。