一种双腔冷阱和冷凝物质吸收处理装置及实现方法

本发明公开了一种双腔冷阱和冷凝物质吸收处理装置及实现方法，包括双腔冷阱和吸收处理装置，在具有挥发性化学物质的气相沉积过程中，过量化学物质及副产物通过管路连接至冷阱入口插板阀，冷阱内腔可放置液氮、干冰或冰盐浴等将气态化学物质进行冷凝，冷阱出口插板阀接真空泵；待反应结束后，冷阱入口插板阀连接惰性载气及气体流量计，用于将冷凝在外腔内壁的化学物质加速气化并带出腔体；冷阱出口插板阀连接吸收桶并将管路插入吸收液的液面下方，同时在管路插入液面前通入惰性载气对气化的化学物质进行稀释，降低化学物质浓度与吸收液反应的剧烈程度，确保安全吸收。本发明可有效保护下游真空系统，同时可确保长期安全生产。