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기록
半导体光刻胶清洗剂原料混合处理设备
발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
潘燕皇; 周锡武; 周雄; 杨昌辉
IPC 분류
B01D 36/04 (2006.01)B01D 29/64 (2006.01)
本发明公开半导体光刻胶清洗剂原料混合处理设备,属于污水处理技术领域,包括筒体以及筒体底端的过滤液出口,筒体顶部的中间位置处固定有接收斗,接收斗一侧的切线方向设有进液管。本发明采用“拦截‑离心‑过滤”的三级递进处理模式,实现半导体光刻胶清洗剂原料混合处理的精准过滤,首先,通过筒体顶部的锥块及外周环形堰台,可直接拦截进水中的颗粒,从源头保障后续处理流场稳定,其次,借助筒内离心筒与旋转的离心叶轮,以离心力高效过滤细小颗粒,解决了传统单一处理中细小颗粒无法有效沉降的问题,最后,利用离心筒与筒体内壁之间的滤网,对离心过滤后的溢流液进行过滤,精准捕捉极细小颗粒,避免极细小颗粒穿透沉砂池进入生化处理单元。