匀风过滤装置件及半导体涂胶显影设备

本申请提供了一种匀风过滤装置及半导体涂胶显影设备，涉及半导体制造技术领域。包括：风盒，一侧面开设有进风口，风盒的底面为出风面板，出风面板上开设有多个出风孔；支撑架，包括连接部、支撑部和挡风部，支撑部通过连接部贴合连接于风盒的内侧壁，支撑部从风盒内侧壁向风盒内水平延伸，用于承载其他部件，挡风部位于支撑部朝向进风口的一端，并朝向风盒的底面延伸至出风面板；颗粒过滤件，颗粒过滤件包括边框和连接在边框内的过滤网，边框通过密封胶连接在支撑部朝向出风面板的一面。本申请能够防止颗粒过滤件边缘与风盒侧壁之间泄露，进一步提高了产品的良品率。