电加热水洗尾气处理设备

本发明涉及半导体尾气处理技术领域，尤其是指电加热水洗尾气处理设备，包括加热机构，所述加热机构的底部安装有排出机构，所述排出机构的下方安装有过滤机构，所述过滤机构上安装有喷淋机构，所述加热机构包括保护筒，所述保护筒的底部安装有底板，所述底板的上表面固定连接有外筒，所述外筒的内顶部固定连接有中筒，所述中筒的内壁固定连接有内筒，所述外筒的顶部安装有尾气进入管，所述外筒的顶部安装有电热棒，所述喷淋机构包括喷淋塔，所述喷淋塔通过管道与底板连接。本发明，能够对碳化硅外延生长工艺产生的尾气进行处理，每分钟可以处理300L的H，并去除尾气中硅烷燃烧处理后的二氧化硅等固体颗粒。