一种微波加热脱附制备高浓度臭氧装置及其使用方法

本发明涉及臭氧制备技术领域，具体涉及一种微波加热脱附制备高浓度臭氧装置及其使用方法，包括吸附塔体，所述吸附塔体的内侧填充有硅胶吸附剂，所述吸附塔体的两侧分别设置有进口管路系统与出口管路系统，所述进口管路系统与出口管路系统连接有气体扩散器，所述吸附塔体的一端连通有导波管，所述导波管的末端安装有微波发生器，所述导波管与吸附塔体的连接端设置有密封垫片。本发明采用可控性较强的微波耦合高温脱附气体作为脱附能量来源，能够快速的产生高浓度臭氧；利用微波的选择性加热吸附臭氧的硅胶，通过加热硅胶中的硅羟基或水分子，可利用较小的热量输出获得高浓度臭氧，无需对吸附硅胶进行整体加热或冷却，能量消耗量低。