一种对硅烷合成乙硅烷产物中杂质气体纯化的系统及工艺

本发明公开了一种对硅烷合成乙硅烷产物中杂质气体纯化的系统，包括依次连通的膜分离装置、风机、第一精馏塔和第二精馏塔；本发明还涉及一种对硅烷合成乙硅烷产物中杂质气体纯化的工艺，本申请通过采用膜分离方式对硅烷合成乙硅烷产物气体中高含量的氢气等轻组分与硅烷、乙硅烷和丙硅烷进行初分，再进行精馏分离，回收的乙硅烷的纯度高达99.995％以上，工艺高效简便，能耗较低。