一种半导体废气吸附净化的设备及方法

本发明公开了一种半导体废气吸附净化的设备及方法，包括依次相连的预处理机构、复合吸附机构以及催化净化机构；预处理机构包括水平布置的预处理流通管壳，预处理流通管壳左端具有沿其周向贯通的输入管连接孔，输入管连接孔中转动连接有预处理输入管，预处理流通管壳右端固定有沿其轴线延伸的预处理输出管；预处理输入管侧壁上固定有多根与其内部相连通的切向输出管；预处理流通管壳外侧固定有多根杂质外排管，预处理流通管壳内部通过侧壁上的杂质外排连通孔与杂质外排管内部相连通；设备能够高效预处理，为后续净化“减负提质”，预处理机构作为废气进入系统的第一道关卡，核心优势在于精准分离杂质与强化气流稳定性。