検索に戻る
案件記録
一种滤膜的清洗方法
発明有効
2閲覧数
10請求項 · 1 独立
§ Ⅰ
案件概要
発明者
陈亚; 贺天星; 吴艳
IPC分類
B01D 65/06 (2006.01)
本发明提供一种滤膜的清洗方法,具体涉及膜清洗技术领域。所述清洗方法包括以下步骤:将待处理的滤膜依次送入酒精槽、第一水洗槽,分别采用酒精、纯水进行预清洗;将所述预清洗后的滤膜送入酸洗槽,在温度为20~40℃、质量浓度为0.1~1%的酸洗液中进行酸洗;将所述酸洗后的滤膜送入碱洗槽,在温度为20~30℃、质量浓度为0.1~1%的碱洗液中进行碱洗;将所述碱洗后的滤膜送入第二水洗槽,采用纯水进行水洗;将所述水洗后的滤膜进行烘干处理,即得高洁净的滤膜。本发明的清洗方法,过程简单高效,清洗后的滤膜重金属含量低,溶出物少,适用于微电子行业的过滤。
外部リソース