一种放电反应连续合成乙硅烷的装置及方法

本发明公开了一种放电反应连续合成乙硅烷的装置及方法，包括等离子体反应器、吸附塔、两个精馏塔，等离子体反应器内部设置有环形电极阳极、环形电极阴极，电极阳极与电极阴极为同轴布置。合成方法包括：将放电反应连续合成乙硅烷的装置抽空至绝压5~10 Pa；将等离子体反应器预热至60~100℃；将甲硅烷、氢气通过流量计进入第一缓冲罐混合；将混合气通入等离子体反应器反应，反应温度为60~100℃；反应后的产物进入冷阱，脱除部分高阶硅烷；冷阱后的乙硅烷粗气经压缩机抽至吸附塔吸附，脱除水分和部分二氧化碳；经吸附后的气体进入精馏塔精馏，得到纯度为5N及以上的电子级乙硅烷。该装置及方法安全、乙硅烷的选择性高、能耗低、产品品质好。