石墨烯制备装置

本发明提供一种石墨烯制备装置，涉及石墨烯生产制造技术领域。该石墨烯制备装置包括反应腔、微波发生组件和进料组件，微波发生组件与所述反应腔连通；进料组件与所述反应腔连通，所述微波发生组件被配置为向所述反应腔提供微波，所述进料组件被配置为向所述反应腔提供反应气体，使所述反应腔内形成石墨烯；其中，反应气体在反应腔内的流动方向和微波在反应腔内的传输方向平行设置。即使石墨烯在反应腔内存在积碳也不会阻碍微波发生组件微波能量的输出，无需脉冲刻蚀就能实现石墨烯持续生长，生长过程不间断、连续，优化了制备工艺方法，提高生产效率，减少能源消耗，降低生产成本。