吸附三氯氢硅中磷杂质的Zr-MOFs吸附剂及其制备方法和应用

本发明公开了一种吸附三氯氢硅中磷杂质的Zr‑MOFs吸附剂及其制备方法和应用，属于三氯氢硅提纯技术领域。本发明公开的制备方法包括以下步骤：将锆源化合物加入到溶剂中，混合后得到溶液A；将有机配体加入到到溶剂中，混合后得到溶液B；将改性剂加入溶液A中，搅拌后得到溶液C；将上述得到的溶液B加入到得到的溶液C中，在微波反应器中进行恒温晶化反应，反应结束后将得到的产物进行后处理，得到Zr‑MOFs吸附剂。该方案吸附剂制备效率高，吸附性能优异，成本低，可深度去除三氯氢硅中磷杂质。