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기록

一种均光膜生产用成膜均匀的光学镀膜装置

발명유효
9청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

출원인

深圳市天晟微电子材料有限公司

발명자

李秋云; 刘织红; 李海滨

IPC 분류

B05B 13/02 (2006.01)B05B 15/00 (2018.01)B05B 16/20 (2018.01)B05D 3/04 (2006.01)B05B 12/16 (2018.01)B05B 14/00 (2018.01)

本发明公开了一种均光膜生产用成膜均匀的光学镀膜装置,本发明涉及镀膜技术领域,包括镀膜设备。该均光膜生产用成膜均匀的光学镀膜装置,通过镀膜设备设计,通过固定机构对工件进行夹持固定,以此达到稳定工件的作用,从而保证工件作业过程中的稳定性,通过电机控制固定机构带动工件进行旋转,以此达到均匀镀膜的作用,镀膜料从储料箱的顶部进入向雾化器一侧流动,通过雾化器增加物料雾化密度,提高膜层均匀性,雾化器外部连接辅助器,以此增加物料喷洒范围,在喷淋的过程中容易导致喷料滞留,引流板中部采用漏斗结构,以此达到引导液体流动的作用,从而减少液体滞留,液体从引流板向引流管流动,以此达到收集液体的作用,以此便于后续处理。