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案件記録
静电吸盘基板涂覆机
発明有効
10請求項 · 1 独立
§ Ⅰ
案件概要
出願人
深圳市川世达科技有限公司; 湖南湘芯新材料有限公司; 深圳市云在上半导体材料有限公司
発明者
张桂华; 刘畅; 伊小念; 刘锦豪
IPC分類
B05B 13/02 (2006.01)B05B 12/04 (2006.01)B05B 14/00 (2018.01)
本发明提供了一种静电吸盘基板涂覆机,其包括:机体总成、夹持组件、限位组件和喷涂组件,机体总成由轨道组成,轨道为环形结构并与机架固定连接,机架固定安装至底座两侧,底座顶面分别设有升降机构和上料机构,夹持组件由滑座组成,滑座之间通过连接组件相连,限位组件包括围圈,围圈设置在夹持组件外侧,喷涂组件包括横板和横管,横板固定安装至轨道内壁。本发明可方便静电吸盘输送,利用围圈的升降控制托板移动,实现不同型号的吸盘夹持固定,围圈可对吸盘周围限制,利用气流流通实现异味的吸收,喷涂时实现静电吸盘的稳定转动,配合横管底部的喷嘴实现旋涂操作,调节器可对横管两侧喷嘴的封堵,提高静电吸盘基板涂覆机的使用性能。
外部リソース