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기록
一种旋转式半导体视觉点胶设备
발명유효
6조회수
8청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ
개요
발명자
胡锟; 董雨笋
IPC 분류
B05C 5/02 (2006.01)B05C 13/02 (2006.01)B05C 11/00 (2006.01)
本发明提供了一种旋转式半导体视觉点胶设备,涉及晶圆生产用半导体点胶的结构技术领域,包括:承载底座、承载支框、承载托盘、封闭支块、封闭载框和移动支框;所述承载底座侧面贯穿开设有安装侧槽;所述承载支框安装于固定载槽内侧;所述承载托盘设置于承载支框顶部;所述封闭支块安装于遮挡支框顶部;所述封闭载框安装于封闭支框顶部;所述移动支框固定安装于安装卡块底部;通过点胶支架通过抬升支槽支撑晶圆抬升设置于点胶支管底部,转动支座承载移动支框整体进行稳定的转动调节,横纵调节模组承载点胶支管进行晶圆半径距离的移动调节;解决点胶装置点胶时需要设置较大范围的移动路径,使点胶装置整体体积较大需要占用较大空间的问题。