一种自动化半导体器件检测分选机及方法

本发明提供一种自动化半导体器件检测分选机及方法，包括机架、夹取送料装置、分选装置、飞拍检测装置、挑补料检测装置、位于飞拍检测装置与挑补料检测装置之间的缓料区和位于挑补料检测装置一侧的挑补料区域，通过取放机构和缓存夹爪机构协同作用，将储料区的蓝膜转移到分选装置上，通过分选装置分选后，通过吸嘴组件进行吸附半导体器件，在通过视觉检测模组、侧面检测模组分别完成底面、四面检测后，通过第一搬运组件对料盘和盖板依次进行有序搬运，并输送至检测组件对半导体器件的顶面进行检测，在检测到有不合格的半导体器件时进行挑出，同时将合格的半导体器件填补至对应位置实现满盘状态，然后再次进行复检，提高生产效率以及良品率。