基板分选机

本发明涉及半导体制造技术领域，提供了一种基板分选机，包括推杆机构、料仓、夹持机构、产品定位流道、搬运机构、料盘移载流道、分类流道以及上料盘流道；所述料仓能够将载有基板的料盒运送到所述夹持机构的待取工位上并通过所述夹持机构将料盒运送至推料工位，所述推杆机构能够将料盒中的基板推送至产品定位流道上；所述上料盘流道提供空料盘，通过所述搬运机构能够将基板分类放置到空料盘中，再由所述料盘移载流道将放有所述基板的料盘运送到所述分类流道中。本发明采用多轴机械臂配合末端执行器将基板从载具取出后，经定位再分拣至目标区域，兼容性好、使用寿命长，装配简单，维修方便，可一人多机操作，减少了人力资源的浪费。