一种用于半导体行业的基于复合机器人的超声波除尘装置

本发明公开了一种用于半导体行业的基于复合机器人的超声波除尘装置，包括AGV小车，AGV小车上设有安装框架，安装框架底部设有底框，底框与AGV小车相连；安装框架顶部设有机械臂，机械臂远离安装框架的自由末端设有超声波除尘装置；超声波除尘装置包括除尘头，除尘头腔体的底部设有除尘头底板，除尘头与除尘头底板一体化成型；除尘头腔体的顶部设有进风筒，除尘头腔体内设有正压腔，正压腔四周侧壁由除尘头腔体内的除尘头底板上向竖直设置，正压腔顶板距离除尘头腔体的顶端设有分离间距，进风筒与正压腔贯通连接。本申请对载具水平面及竖直门进行清洁，满足更加广泛的除尘需求，极大的增加了应用范围。