石英管清洗装置、清洗方法及清洗系统

本申请公开一种石英管清洗装置，包括清洗槽、旋转机构、酸液供给机构、冲洗机构及烘干机构。旋转机构用于承载石英管并驱动石英管转动；酸液供给机构能够将酸液输入清洗槽并将酸液从清洗槽内抽出；冲洗机构能够通过外部喷头朝石英管的外壁喷射纯水，通过内部喷头朝石英管的内部喷射纯水；烘干机构用于朝清洗槽内的石英管喷射干燥气体。石英管放置于清洗槽内后，可以通过酸液供给机构对石英管进行酸洗，然后通过冲洗机构对石英管进行纯水冲洗；最后还可以通过烘干机构对石英管进行烘干，无需设置多个清洗工位执行不同的清洗步骤，从而无需额外设置搬运设备搬运石英管在多个清洗工位之间流转，降低了清洗成本。本申请还公开一种清洗方法及清洗系统。