石英坩埚内外喷淋式冲洗装置及石英坩埚清洗方法

一种石英坩埚内外喷淋式冲洗装置及石英坩埚清洗方法，包括支撑板、旋转组件、低压喷淋组件、高压喷淋组件；支撑板的下表面固定有支架；旋转组件转动安装于支撑板上，使旋转组件能够沿着支撑板的上表面周向旋转，进而使放置在旋转组件上需要冲洗的坩埚低速旋转；低压喷淋组件穿过支撑板，用于对放置在旋转组件上的坩埚内表面冲洗；高压喷淋组件安装在支撑板的上方，用于对放置在旋转组件上的坩埚外表面冲洗。本发明通过设置的旋转组件带着坩埚旋转，利用低压喷淋组件和高压喷淋组件对坩埚内、外表面进行喷淋清洗，从而使得坩埚的内外表面均实现喷淋的目的，大大提高了清洗效率，同时又能够保证清洗质量。