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기록

一种晶棒清洗机

발명유효
10청구항 · 1 독립항
§ Ⅰ

개요

발명자

陶玉龙; 胡磊; 陈银; 浦琦文

IPC 분류

B08B 11/00 (2006.01)B08B 11/02 (2006.01)B08B 1/14 (2024.01)B08B 1/20 (2024.01)B08B 1/30 (2024.01)B08B 3/02 (2006.01)F26B 21/20 (2026.01)H10P 70/00 (2026.01)

本发明涉及晶棒清洗的领域,公开了一种晶棒清洗机,包括固定架和清洗箱,所述固定架内安装清洗箱,所述清洗箱左右两侧面中间设置烘干结构,所述固定架上面前后两侧边沿处均紧固有固定框,两个所述固定框上通过摆动结构设置两个托物框,所述固定架上面前侧两个边角处均设置上料结构,所述固定架上面后沿两个边角处设置下料结构,所述固定架内下方设置擦洗结构,所述固定架前后两侧内壁上均设置冲洗结构,通过摆动结构同步带动两个托物框摆动,在其中一根晶棒清洗后,可及时将下一根晶棒转进清洗箱中继续进行清洗工作,操作更加省力、方便,合理的利用工作时间,提高工作效率。