一种纳米级粉末制备装备及工艺方法

本发明公开了一种纳米级粉末制备装备，包括主平台、金属蒸发组件、粉末收集组件和真空获得系统，所述主平台的上端外侧设置有装备主体，且装备主体的前端通过合页安装有前门，所述装备主体的内部设置有真空腔体；所述装备主体的内部下侧设置有金属蒸发组件，且装备主体的中部设置有位于金属蒸发组件斜上方的粉末收集组件；所述主平台的内部安装有真空获得系统，真空获得系统由旋片泵及分子泵组成，所述分子泵的上方安装有真空管路。本发明通过集成高真空、感应加热、高速收集和智能控制等技术，实现了纳米级粉末的高效、低成本、高质量和灵活制备，解决了现有方法中成本高、直径分布广、产量低、团聚和杂质引入等问题。