一种激光辅助掩膜电解复合加工方法及加工系统

一种激光辅助掩膜电解复合加工方法及加工系统，所述加工系统包括：激光器、激光束、聚焦透镜、光学透镜、光学透镜夹具体、工具阴极、工具阴极夹具、电解液入口、工件夹具、电解电源、工件、掩膜、电解液、电解液出口和电解液出口流道；激光器输出的激光束从上到下依次穿过聚焦透镜、光学透镜和电解液，并垂直辐照在掩膜表面；掩膜紧密安设于工件上端面；工件水平安设于光学透镜的正下方；工具阴极的下端面高于光学透镜的上端面。本发明通过激光束破除掩膜并蚀除工件，随后原位电解蚀除重铸层，借助掩膜的屏蔽作用提高了加工定域性，采用工具阴极与激光束分区的方式提高了加工稳定性，从而实现高质量（Ra<1μm）、微尺度（<100μm）表面织构的高效加工。