一种CoZrTaB靶材的扩散焊接方法

本发明提供一种CoZrTaB靶材的扩散焊接方法，所述扩散焊接方法包括如下步骤：（1）CoZrTaB靶坯精加工到焊接尺寸，采用聚晶金刚石螺纹刀在CoZrTaB靶坯的焊接面加工螺纹；（2）对加工螺纹后的焊接面依次进行第一清洗和PVD镀钛膜，得到待焊接CoZrTaB靶坯；背板精加工到焊接尺寸，得到待焊接背板；（3）待焊接CoZrTaB靶坯和待焊接背板依次进行第二清洗、装配、包套焊接、高温脱气和扩散焊接，得到扩散焊接后CoZrTaB靶材。本发明所述的扩散焊接方法通过采用聚晶金刚石螺纹刀在CoZrTaB靶坯的焊接面加工螺纹后镀钛膜，得到了焊接强度高，满足高温溅射使用要求的CoZrTaB靶材。