一种太阳能电池的激光加工方法及激光加工设备

本申请提出一种太阳能电池的激光加工方法及激光加工设备，激光加工方法包括将激光器发射的激光束经过分束器形成多个子光束，多个子光束经过聚焦镜后照射在太阳能电池上形成多个分光光斑；控制多个分光光斑在太阳能电池上沿扫描方向运动，扫描方向与多个分光光斑的连线方向之间的夹角为α，相邻分光光斑在垂直于扫描方向的平面内的投影至少部分重叠；0°＜α＜arcsin(d/L)，d为单个分光光斑的尺寸，L为相邻两个分光光斑的中心距。该激光加工方法采用先分光又重叠拼接的加工方式，可以采用小尺寸分光光斑，有效缓解了直接采用大尺寸光斑带来的大面积热积累而导致的热损伤问题，兼顾了高产能与高良率。