一种电子元件自适应激光蚀刻装置

本发明公开了应用于激光蚀刻装置领域的一种电子元件自适应激光蚀刻装置，在蚀刻工作的过程中，工业视觉模块实时采集电子元件表面的图像信号，识别标记点位置，计算标记点区域的形变量，进而判断蚀刻线的宽度，当宽度超过预设值时，降低蚀刻单元的输出功率，反之则增加蚀刻单元的输出功率，直至蚀刻线宽度符合要求，利用工业视觉模块配合蚀刻单元和吸尘单元一，吸尘单元一在不影响蚀刻单元正常工作的前提下，最大程度接近电子元件进行蚀刻的位置，之后对吸尘单元一的角度进行调整，对蚀刻工作及其烟雾吸附工作进行自适应调整，使得工业视觉模块不易受到蚀刻烟雾的影响，不易对蚀刻单元的正常工作造成影响。