一种加工方法、加工设备、大口径平面玻璃及光学设备

本申请公开了一种加工方法、加工设备、大口径平面玻璃及光学设备，涉及光学元件加工技术领域。该方法包括对毛坯平面玻璃进行预加工操作，获得第一中间状态玻璃后，通过干涉检测第一中间状态玻璃对应的第一PV值；当第一PV值≤5wave时，持续多次对第一中间状态玻璃进行粗加工操作，直至获得第二中间状态玻璃，第二中间状态玻璃对应的第二PV值≤3wave，且单根划痕长度≤30mm、划痕宽度≤30um以及所有划痕数量≤10根；持续多次对第二中间状态玻璃进行细加工操作，直至获得目标状态玻璃，目标状态玻璃对应的第三PV值≤300nm，且划痕参数满足优于第一预设条件的预设级数要求，操作流程标准统一，方便批量稳定地生产。