一种在数控机床上实现石英电极基座精密加工的系统及方法

本发明属于精密加工技术领域，公开了一种在数控机床上实现石英电极基座精密加工的系统及方法。所述系统包括可调整内冷支架、悬臂砂轮、找正工装和封闭循环冷却系统。使用方法如下：1）电主轴通过可调整内冷支架调节轴线架与数控车床连接；2）利用悬臂砂轮的砂轮圆周实现平面的加工；3）通过找正工装的上的零部件更换完成石英电极基座所有表面的磨削加工；4）采用封闭循环冷却系统进行石英电极基座的磨削冷却。通过集成可调整内冷支架、悬臂砂轮、快换找正工装及封闭循环冷却系统，在通用数控机床上实现了石英电极基座的高精度、多表面、一次装夹完整加工，显著提升了加工效率与精度一致性，同时有效控制磨削温度与磨屑污染。