基于DFG 8560单轴精磨模式的晶圆重划伤三维形貌修复工艺

本申请具体公开了一种基于DFG 8560单轴精磨模式的晶圆重划伤三维形貌修复工艺，旨在解决传统双阶段研磨工艺中粗磨引入深层亚表面损伤、加工效率低及材料浪费严重的问题。该工艺包括：通过自动化光学检测系统识别晶圆表面存在的重划伤缺陷；采用粒度8000陶瓷结合剂金刚石砂轮，在主轴转速1300–2300rpm、工作台转速1785–2100rpm、转速比0.6–1.3的优化参数下，利用超纯水冷却进行单轴精磨，跳过粗磨直接完成三维形貌修复；研磨分三阶段动态调控转速与压力，总时间≤135秒，去除量6–12微米。本申请通过采用上述技术方案，能够实现表面粗糙度Ra＜0.5纳米、亚表面损伤层＜50纳米、修复成功率＞98.5%，显著缩短加工时间35%以上、减少材料去除量40%。