一种砂轮组件及晶圆制造方法

本发明提供了一种砂轮组件及晶圆制造方法，砂轮组件包括第一砂轮，第一砂轮包括圆柱形的第一主体部和形成于第一主体部的外周面的第一研磨部，第一研磨部的顶面为平面，第一研磨部的底面部分地向远离第一研磨部的顶面的方向倾斜并形成有第一研磨面以及一端与第一研磨面连接的第二研磨面，第二研磨面的另一端与第一主体部连接；第一研磨面靠近第一主体部的端部至第一研磨部的顶面的距离小于第二研磨面靠近第一主体部的端部至第一研磨部的顶面的距离，第一研磨面与第一主体部的轴线方向具有第一锐角，第二研磨面与第一主体部的轴线方向具有第二锐角，第一锐角小于第二锐角。利用砂轮组件对晶圆原片研磨以实现边缘去除时，可减少崩边。