一种砂轮、研磨设备及晶圆制造方法

本发明提供了一种砂轮、研磨设备及晶圆制造方法，砂轮包括主体部和研磨部；研磨部的顶面为垂直于主体部的轴线的平面，研磨部的底面形成有向着远离研磨部的顶面的方向倾斜的第一研磨面以及向着靠近研磨部的顶面的方向倾斜且一端与第一研磨面连接的第二研磨面，第二研磨面的另一端与主体部连接，第一研磨面靠近主体部的端部至研磨部的顶面的距离大于第二研磨面靠近主体部的端部至研磨部的顶面的距离；第一研磨面与基准平面具有第一锐角，第二研磨面与基准平面具有第二锐角，第二锐角小于第一锐角，基准平面垂直于主体部的轴线。砂轮用于在制造晶圆的过程中对晶圆原片进行研磨以实现边缘去除，砂轮的应用可提高制得的晶圆的边缘质量。