一种晶圆搬运机器人的碰撞检测方法及系统

本发明属于半导体制造安全控制技术领域，具体说是一种晶圆搬运机器人的碰撞检测方法及系统，接收机器人轨迹规划模块输出的关节角度序列及高度坐标；通过正向运动学求解器计算机械臂各节点的笛卡尔坐标；利用点区域判断与线段区域检测算法，优先校验节点是否位于预定义安全区域；对位于安全区域外的晶圆执行区域化晶圆碰撞检测；若未发生晶圆碰撞，则为风险连杆构造定向包围盒OBB；检测OBB顶点是否越界，并对OBB各边与对应区域的腔室边界线段进行线段相交检测；最终输出碰撞判定结果，由机器人控制系统决策是否执行运动。本发明通过多级检测机制与高度自适应截面选择，实现了高效、精确的碰撞检测，具备高实时性、低成本、易集成等优点。