一种晶圆取放片调度逻辑动画的优化方法

本发明提供了一种晶圆取放片调度逻辑动画的优化方法，包括：模拟不同机械臂的取放操作，获取模拟结果即各机械臂旋转至不同腔室的旋转角度，并在上位机中基于模拟结果构建机械臂旋转角度对照表；在上位机中创建用于模拟芯片半导体机台的画布，并按照机台结构在画布中构建机械臂与腔室的模拟图；使用上位机与机械臂建立信号连接，获取机械臂反馈的当前执行的机械臂及需要到达的目标腔室，在旋转角度对照表中找到目标腔室对应的旋转角度；在上位机中根据腔室对应的旋转角度在画布内执行机械臂的旋转操作，形成旋转动画；本发明不使用机械臂的旋转信息制作上位机旋转动画，减少机械臂在计算旋转时的大量计算，将更多计算应用于传送过程中。