一种硅基光驱动微纳机器人及其制备方法和应用

本发明公开了一种硅基光驱动微纳机器人及其制备方法和应用，属于微纳机器人技术领域。本发明首次将α‑Si/金属肖特基结创新性应用于微纳机器人设计中，替代现有技术中复杂的工艺步骤，仅需α‑Si沉积、金属沉积两步简单工艺即可制备得到硅基光驱动微纳机器人，同时突破了传统微纳机器人结构单一、功能拓展受限的瓶颈，成功实现了可编程、通用化、可拓展性微纳机器人的构建，该基于α‑Si的光驱微纳机器人设计属本领域首次实现的结构性创新，为微纳机器人的能量供给与功能集成提供了全新技术路径。