一种线切割冷却装置、线切割设备及线切割方法

本发明提供一种线切割冷却装置、线切割设备及线切割方法，属于硅片切割设备技术领域，线切割冷却装置包括切割液槽、导流板和调节机构；调节机构连接于切割液槽，包括连接座、旋转组件和升降组件，其中，连接座与切割液槽卡接；旋转组件一端与连接座连接，通过旋转驱动器带动连接座转动；升降组件连接于旋转组件的另一端，通过升降驱动器带动旋转组件移动。线切割设备包括上述线切割冷却装置、检测机构和控制系统，控制系统控制线切割冷却装置运行，以调整冷却液的落点。本发明使得导流板的位置和角度可以根据不同单晶硅棒的规格和切割进程进行调整，使冷却液的落点能够随之进行调整，保证冷却液充分参与切割进程，提高硅片的切割质量；切割整体装置结构简单、连接稳固、使用方便，可实现连续自动化作业。