基于喷墨打印的三自由度精密定位平台及其定位方法

本发明涉及精密运动平台技术领域，尤其涉及一种基于喷墨打印的三自由度精密定位平台及其定位方法，包括移动台、安装架、Y轴向驱动机构和两个X轴向驱动机构，两个X轴向驱动机构的驱动方向相同，Y轴向驱动机构与X轴向驱动机构的驱动方向呈垂直设置，通过桥式位移放大结构对压电陶瓷致动器的微位移进行机械放大，在保持纳米级定位精度的同时，实现百微米级以上大行程运动，解决了传统平台行程与精度难以兼顾的问题，通过第一柔性导向结构和第二柔性导向结构提高导向精度，有效抑制寄生运动，并且通过第一解耦结构和第二解耦结构有效隔离多轴运动串扰，提高结构可靠性，能进行XY轴向移动定位和偏转定位，提高适用性。