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案件記録

一种制备单晶坩埚用高纯石英砂的方法

発明有効
13請求項 · 2 独立
§ Ⅰ

案件概要

発明者

史辉; 任其广; 钱丽丹; 殷国亮; 韩凯

IPC分類

C01B 33/12 (2006.01)C03B 20/00 (2006.01)C03B 1/00 (2006.01)

本发明公开了一种制备单晶坩埚用高纯石英砂的方法,涉及高纯石英材料技术领域。本发明利用超临界二氧化碳‑水,与酒石酸、强酸复合,加上超临界二氧化碳较强的吸附能力,促使复合酸与金属阳离子生成可溶性鳌合物,大大提高石英砂的纯度,同时超临界二氧化碳与酒石酸协同减少石英高温析晶的风险,再利用超临界二氧化碳,通过快速降压引发流体体积膨胀,有助于挥发性杂质的逸出、释放,进一步提高石英砂的纯度,更有利于增强后续等离子体处理的效果,最后通过氧化将可控范围内的金属杂质转变为有利于提高石英砂性能的添加剂,从而提升坩埚的质量。

外部リソース